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[請教]取樣器的清洗?多晶硅生產(chǎn)過程中三氯氫硅和四氯化硅取樣分析后，對取樣器的清洗非常麻煩。

發(fā)布時間:2025-01-17 01:27:15瀏覽數(shù):

[請教]取樣器的清洗?多晶硅生產(chǎn)過程中三氯氫硅和四氯化硅取樣分析后，對取樣器的清洗非常麻煩。
依次用氮氣、水、10%的氫氧化鈉、水、高純水、高純氮氣清洗吹掃。
也可以設(shè)計一個清洗吹掃裝置。
一般都是遙遙密閉的取樣器，較不要拿水清洗，如果有殘余的硅烷的話會劇烈反應(yīng)的。可以先用氮氣吹掃，然后用負壓裝置吹掃，然后就是直接密閉起來！取樣瓶都限定遙遙的，放樣完就可以密封起來。
以上只是限于一般生產(chǎn)的取樣器產(chǎn)品，遙遙取樣器的技術(shù)都很成熟，技術(shù)水平也相對的提高，對于取樣器的生產(chǎn)，都相接遙遙取樣完畢直接自動吹掃，根本不用再清洗的。

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